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介紹薄膜測(cè)厚儀的測(cè)試原理及操作方法

更新時(shí)間：2022-04-08

技術(shù)文章

　　薄膜測(cè)厚儀是一種常用的薄膜厚度檢測(cè)方法，采用機(jī)械接觸式測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)，適用于2mm范圍內(nèi)各種薄膜、復(fù)合膜、紙張、金屬箔片等硬質(zhì)和軟質(zhì)材料厚度準(zhǔn)確測(cè)量，誤差小，操作簡(jiǎn)單方便，滿足GB/T 6672《薄膜和薄片厚度測(cè)定機(jī)械測(cè)量法》等標(biāo)準(zhǔn)。

　　薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離。對(duì)于微電子薄膜而言，如光學(xué)薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導(dǎo)薄膜等，其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù)，直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。除此之外，薄膜的厚度也會(huì)直接影響到薄膜材料的力學(xué)性能，透光性能，磁性能，熱導(dǎo)率，表面結(jié)構(gòu)等。

　　測(cè)試原理

　　將預(yù)先處理好的薄型試樣的一面置于下測(cè)量面上，與下測(cè)量面平行且中心對(duì)齊的上測(cè)量面，以一定的壓力，落到薄型試樣的另一面上，同測(cè)量頭一體的傳感器自動(dòng)檢測(cè)出上下測(cè)量面之間的距離，即為薄型試樣的厚度。

　　薄膜測(cè)厚儀操作方法介紹

　　根據(jù)國(guó)標(biāo)中的要求，對(duì)同一張薄膜選取10個(gè)測(cè)試點(diǎn)，薄膜厚度測(cè)量方法如下：

　　1、將兩個(gè)激光傳感器分裝在薄膜試樣的上下方，把傳感器固定在支架上。

　　2、打開儀器，設(shè)置參數(shù)，放置對(duì)比量塊，點(diǎn)擊“確認(rèn)”。

　　3、取走滑塊，重新設(shè)置與步驟（2）相同的參數(shù)，放入薄膜試樣。

　　4、分別取10個(gè)不同的點(diǎn)，位置盡量錯(cuò)開，避免因距離太近影響數(shù)據(jù)。

　　5、測(cè)量值通過(guò)串口傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，再通過(guò)在計(jì)算機(jī)上的測(cè)厚軟件進(jìn)行處理，得到目標(biāo)的厚度值。

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